[发明专利]用于制造谐振器的方法有效
| 申请号： | 201280070384.3 | 申请日： | 2012-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN104126153B | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | T·黑塞勒;S·达拉皮亚扎 | 申请（专利权）人： | 斯沃奇集团研究和开发有限公司 |
| 主分类号： | G04F5/06 | 分类号： | G04F5/06;G04G17/02;B81C1/00;G04B17/06;G04C3/12 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 秘凤华;吴鹏 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于在基底中制造谐振器的方法，其特征在于，该方法包括下述步骤：a)改变基底的至少一个区域的结构，以使所述至少一个区域更具有选择性；b)蚀刻所述至少一个区域，以便选择性地制造所述谐振器。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振器 基底 制造 蚀刻 | ||
【主权项】：
1.一种用于在基底中制造谐振器(300,400)的方法，其特征在于，所述方法包括下述步骤：a)改变基底的至少一个区域的结构，以使所述至少一个区域更具有选择性；b)蚀刻所述至少一个区域，以便选择性地制造所述谐振器；所述谐振器包括联接到体部的惰性块，所述体部由在自身上卷绕以形成螺旋件的条状件形成，其中，所述体部具有至少一个中空部，以用于局部改变所述体部的刚性并从而调节所述谐振器的频率和/或调节等时性缺陷，所述至少一个中空部包括直的垂直侧面。
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