[发明专利]用于生产结构化光学部件的方法在审
| 申请号： | 201280068375.0 | 申请日： | 2012-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN104093552A | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | 汉斯·乔基姆·昆策尔;乌尔里克·霍夫曼;瓦内萨·斯坦恩彻丽 | 申请（专利权）人： | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
| 主分类号： | B30B7/02 | 分类号： | B30B7/02;G02B5/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京思益华伦专利代理事务所(普通合伙) 11418 | 代理人： | 赵飞;郭红丽 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 根据本发明的方法用于生产光学部件、具体为用于包封微系统的盖，其中，在布置之前生产的至少一个强化元件布置在第一衬底上，结果生成堆叠。此堆叠在连接到第二衬底之后被加热，结果变形第一衬底，使得第一衬底中至少被强化元件覆盖的区域移动和/或倾斜或第一衬底与强化元件进行接触。在根据本发明的可选方法中，强化元件布置在第二衬底上，其中此堆叠然后连接到第一衬底。然后加热第一衬底，使得第一衬底的区域和强化元件进行接触。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 生产 结构 光学 部件 方法 | ||
【主权项】：
一种用于生产光学部件的方法，包括以下步骤：‑提供第一衬底(1)和第二衬底(5)；‑通过将其与强化衬底(4a)分开提供至少一个强化元件(4)；‑通过将所述至少一个强化元件(4)布置在所述第一衬底(1)上形成堆叠(7)，由此，所述强化元件(4)覆盖所述第一衬底(1)的区域；‑使所述第二衬底(5)与所述堆叠(7)进行接触；以及‑加热并变形所述第一衬底(1)，使得所述衬底(1)中被所述至少一个强化元件(4)所覆盖的所述区域的至少一部分移位和/或倾斜，并且/或者所述第一衬底(1)的区域与所述至少一个强化元件(4)进行接触。
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