[发明专利]制造氢气分离复合膜的方法

摘要

描述了一种制造气体分离系统的方法。该方法包括以下步骤：(1)提供具有初始平均孔径和初始表面粗糙度的多孔载体，以及(2)将颗粒状材料施加于所述多孔载体的表面以(a)功能上减小所述载体的平均孔径且(b)功能上降低所述载体的可测量的表面粗糙度。施加尺寸降低的颗粒状材料的另外的层以进一步降低所述载体的平均孔径并进一步降低所述载体的粗糙度。当所述载体达到所期望的光滑度水平时，在其上沉积气体选择性材料的薄膜。然后将所述膜和载体在阻止或显著降低所述膜在商业使用期间裂缝的条件下退火。

主权项

制造气体分离系统的方法，所述方法包括以下步骤：(a)提供具有第一表面和第二表面的多孔金属载体，其中各所述表面与另一表面相对，从而限定载体厚度，所述载体的所述第一表面具有第一平均孔径；(b)使所述载体的所述第一表面与具有第一平均粒径的第一颗粒状材料接触以形成在涂覆载体上的第一涂覆表面，其中所述第一平均粒径小于所述第一平均孔径；(c)从所述第一涂覆表面移除过量的第一颗粒状材料；(d)使所述第一涂覆表面与具有第二平均粒径的第二颗粒状材料接触以形成在所述涂覆载体上的第二涂覆表面，其中所述第二平均粒径小于所述第一平均粒径；(e)从所述第二涂覆表面移除过量的第二颗粒状材料；(d)沉积至少一层气体选择性材料以覆盖所述载体的所述第一表面；以及(e)退火所述涂覆载体和所述至少一层气体选择性材料，其中所述退火在促进所述气体选择性材料的晶粒生长的温度下进行。