[发明专利]设置有附加横向热源的通过定向固化制造晶体材料的系统在审
申请号: | 201280052983.2 | 申请日: | 2012-08-31 |
公开(公告)号: | CN103890240A | 公开(公告)日: | 2014-06-25 |
发明(设计)人: | J-P.加兰德特;A.乔尼;D.佩雷蒂尔 | 申请(专利权)人: | 原子能和代替能源委员会 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B33/02;C30B35/00;C30B28/06;C01B33/02;H01L31/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 邱军 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 法国;FR |
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摘要: | 结晶系统包括坩埚(1)以及装置(4),坩埚(1)设置有旨在容纳要固化的材料的底部(2)和侧壁(3),装置(4)用于在垂直于坩埚(1)的底部(2)的方向上在坩埚(1)内产生主热梯度。附加感应加热装置(6)设置在坩埚(1)的侧壁(3)面对液态材料而不与固相重叠。该附加感应加热装置(6)构造以加热晶体材料位于液态材料、固化的材料和坩埚(1)之间的三线附近的部分,使得该液态材料和该固化的材料之间的界面(10)在该三线附近形成凸弯月形。 | ||
搜索关键词: | 设置 附加 横向 热源 通过 定向 固化 制造 晶体 材料 系统 | ||
【主权项】:
一种通过定向固化执行晶体材料制造的系统,包括:坩埚(1),设置有设计为容纳要固化的材料的底部(2)和侧壁(3),在实质上垂直于该坩埚(1)的该底部(2)的方向(X)上在该坩埚(1)中产生主热梯度的装置,附加感应加热装置(6),设置在该坩埚(1)的该侧壁(3)的位置并且构造为加热该材料的位于液态材料、固化的材料和该坩埚(1)之间的三线附近的部分,使得该液态材料和该固化的材料之间的界面(10)在所述三线附近形成凸弯月形,其特征在于,该系统包括一种装置,该装置用于在实质上垂直于该坩埚(1)的该底部(2)的方向(X)上移动该附加感应加热装置(6)且构造为在全部结晶期间将该附加加热装置(6)放置为面向该液态材料而不与固相重叠。
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