[发明专利]电子显微法的观察样品、电子显微法、电子显微镜以及观察样品制作装置有效
| 申请号： | 201280051975.6 | 申请日： | 2012-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN103907004B | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 三羽贵文;小濑洋一;中泽英子;许斐麻美;渡边俊哉;木村嘉伸;津野夏规 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01B15/02;H01J37/20;H01J37/28 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王亚爱 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种电子显微法的观察样品、电子显微法、电子显微镜以及观察样品制作装置。抑制一次电子导致的带电，根据观察样品得到明确的边缘对比度，高精度地测量试料的表面形状。使用试料上的包含离子液体的液状介质为薄膜状或者网膜状的观察样品。此外，在使用该观察样品的电子显微法中，包括：测量试料上的包含离子液体的液状介质的膜厚的工序；基于包含上述离子液体的液状介质的膜厚来控制一次电子的照射条件的工序；和按照上述一次电子的照射条件照射一次电子并对上述试料的形态进行图像化的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 显微 观察 样品 电子显微镜 以及 制作 装置 | ||
【主权项】：
一种电子显微镜，其特征在于，具有：电子源，其放射一次电子；试料座，其保持试料；排气室，其设置上述试料座并进行排气；透镜系统，其将上述一次电子汇聚于上述试料；偏转器，其对上述一次电子进行扫描；检测器，其对通过照射上述一次电子而从上述试料放射出的二次电子进行检测；图像生成部，其按照上述二次电子形成图像；试料室，其设置上述试料座；测量机构，其对上述试料上的薄膜状或者网膜状的包含离子液体的液状介质的膜厚进行测量；和基于上述试料上的包含离子液体的液状介质的膜厚的上述一次电子的照射条件控制部，包含离子液体的液状介质的薄膜或者网膜为沿着试料的表面形状的膜，或者是低加速的一次电子能够透射的膜厚。
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