[发明专利]表面聚合物涂层有效
| 申请号： | 201280051836.3 | 申请日： | 2012-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN103930192B | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | F·莱杰因;F·费迪南蒂 | 申请（专利权）人： | 欧罗等离子股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D69/12 | 分类号： | B01D69/12;C23C14/06;H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 申发振 |
| 地址： | 比利时奥*** | 国省代码： | 比利时;BE |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于给基板涂以聚合物层的等离子体室(11’)，该等离子体室包括第一电极组(14’)和第二电极组(14’)，该第一及第二电极组被布置于用于容纳基板的样品室的两侧，其中该第一及第二电极组包括多个电极层(141’,142’)，并且其中每个电极组包括用于将聚合物涂覆于基板的每个表面的多个射频电极层或多个接地电极层。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 聚合物 涂层 | ||
【主权项】：
一种等离子体室，用于给基板涂以聚合物层，所述等离子体室至少具有第一电极组和第二电极组，所述第一电极组和第二电极组被分开以容纳待涂敷的基板，其中所述第一电极组和第二电极组中的每一个包括三个电极层，并且其中所述第一电极组和第二电极组两者都包括内电极层和一对外电极层，其中所述内电极层是射频电极而所述外电极层是接地电极，或者所述第一电极组和第二电极组两者都包括内电极层和一对外电极层，其中所述内电极层是接地电极而所述外电极层是射频电极。
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