[发明专利]借助使用片上中和电容器和线性致动的自动校准的电容换能器的线性度增强

摘要

公开了一种用于使用线性致动来自动校准电容换能器以中和馈通电容的系统和方法。所述方法包括：以初始中和电容开始，不向换能器的检测质量块施加静电力，而施加两个已知的静电力，记录由所施加的力引起的换能器输出变化；以及基于变化确定如何修改中和电容。方法可以使用二分查找来查找提供最佳线性度的最终中和电容。方法可以包括将最终线性度与阈值线性度相比较。可以使用电荷控制方法来施加静电力，其中，静电力是致动持续时间的线性函数。线性致动可以用于电容传感器的连续自检。

主权项

一种用于从中和电容的初始值开始自动校准电容换能器以中和馈通电容的方法，所述方法包括：不向所述电容换能器的检测质量块施加静电力；在没有将静电力施加到所述检测质量块时，记录所述电容换能器的基本输出值；将静电力F0施加到所述电容换能器的所述检测质量块；记录在所述基本输出值与当将所述静电力F0施加到所述检测质量块时的第一输出值之间的所述电容换能器的输出值的第一变化；将静电力n*F0施加到所述电容换能器的所述检测质量块，其中，n是大于一的数；记录在所述第一输出值与当将所述静电力n*F0施加到所述检测质量块时的第二输出值之间的所述电容换能器的输出值的第二变化；基于所记录的所述电容换能器的输出值的第一变化和第二变化来增大、减小或保持所述中和电容；以及重复所述方法直至达到所述中和电容的最终值为止。