[发明专利]通过使硅烷在流化床反应器中热分解而制备多晶硅在审
| 申请号： | 201280047656.8 | 申请日： | 2012-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN103842070A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | S·布萨拉普;P·古普塔;Y·黄 | 申请（专利权）人： | MEMC电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B01J8/18 | 分类号： | B01J8/18;C01B33/03;C01B33/107;F23C10/18;C30B28/14 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 徐国栋;林柏楠 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了通过硅烷的热分解而制备多晶硅的方法。该方法一般性地涉及使硅烷在反应条件下操作的流化床反应器中热分解，其产生相对于常规制备方法的高生产率。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 硅烷 流化床 反应器 分解 制备 多晶 | ||
【主权项】：
一种通过使硅烷在具有反应室的流化床反应器中热分解而制备多晶硅的方法，所述反应室具有进料气通过的横截面，流化床反应器产生至少约100kg/hr多晶硅/平方米反应室横截面，所述方法包括：将一种或多种进料气与一种或多种包含硅烷的气体一起引入反应室中，供入反应室中的进料气中的总硅烷浓度为小于约15体积%，反应室中的压力为至少约3巴；其中硅烷在反应室中热分解以使一定量的硅沉积于硅颗粒上。
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