[发明专利]用于纳米压印的模具的制造方法有效
| 申请号： | 201280047054.2 | 申请日： | 2012-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN103842861A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 刘庆钟;李领宰;金镇秀;李俊 | 申请（专利权）人： | LG伊诺特有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 许向彤;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于纳米压印的模具的制造方法，所述方法包括：在基板上形成多个栅格图案；在所述栅格图案上形成金属栅格图案；在所述金属栅格图案上形成镀层；以及将由所述金属栅格图案和所述镀层组成的模具与所述栅格图案分离，这可以降低生产成本，提高工艺效率，并且提供具有改善的耐用性和可靠性的用于纳米压印的模具。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 纳米 压印 模具 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于纳米压印的模具的制造方法，包括：在基板上形成多个栅格图案；在所述栅格图案上形成金属栅格图案；在所述金属栅格图案上形成镀层；以及将由所述金属栅格图案和所述镀层组成的模具与所述栅格图案分离。
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