[发明专利]放射线检测面板的制造装置及放射线检测面板的制造方法有效
| 申请号： | 201280045409.4 | 申请日： | 2012-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN103814412A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 千代间仁;吉田笃也;松山涉;山本丰雄;会田博之;榛叶勇一 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝;东芝电子管器件株式会社 |
| 主分类号： | G21K4/00 | 分类号： | G21K4/00;G01T1/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 张鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的放射线检测面板的制造方法在蒸发源的正上方侧将光电转换基板配置成处于光电转换基板(21)的蒸镀面从蒸发源露出并相对于垂直轴倾斜的状态。通过蒸发源，使闪烁材料蒸发并将其向正上方辐射，使闪烁材料蒸镀于上述蒸镀面上，形成荧光体膜。 | ||
| 搜索关键词： | 放射线 检测 面板 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种放射线检测面板的制造装置，其特征在于，具备：蒸发源，该蒸发源使闪烁材料蒸发并向正上方辐射该闪烁材料；以及保持机构，该保持机构位于所述蒸发源的正上方侧，将光电转换基板保持成所述光电转换基板的蒸镀面露出至所述蒸发源且相对于垂直轴倾斜的状态。
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