[发明专利]用于使玻璃类材料构成的扁平基材结构化的方法和光学组件

摘要

本发明描述了用于在粘稠流动工艺过程中使由玻璃类材料构成的扁平基材结构化的方法，其中所述玻璃类扁平基材与扁平基材的表面接合，所述扁平基材具有由位于表面中的周边边缘限界的至少一个凹陷，并且在随后的退火工艺过程中，所述玻璃类扁平基材变为粘稠的自由流动状态，其中扁平基材的至少部分自由流动的玻璃类材料流过周边边缘，进入半导体扁平基材的凹陷中。本发明的特征在于设置扁平基材，其至少一个凹陷具有至少一个润湿表面，该润湿表面相对于扁平基材的表面下陷，并至少部分地由线型边缘限界，同时，该线型边缘是设置在凹陷中并且相对于润湿表面下陷的沟结构的边缘，和/或由可属于润湿表面的自由流动的玻璃类材料的润湿性质的不连续变化确定，其特征在于在退火工艺过程中，使自由流动的玻璃类材料与润湿表面接触，其方式为沿线型边缘形成润湿前锋，并且其特征在于随着在润湿前锋和周边边缘之间延伸而不与扁平基材接触的玻璃类材料的表面的形成终止退火工艺，所述玻璃类材料的表面与所述凹陷的子区域封闭成空腔。

主权项

用于在粘稠流动工艺过程中使由玻璃类材料构成的扁平基材结构化的方法，其中所述玻璃类扁平基材与扁平基材的表面接合，所述扁平基材具有由位于表面中的周边边缘限界的至少一个凹陷，并且在随后的退火工艺过程中，所述玻璃类扁平基材变为粘稠的自由流动状态，其中扁平基材的至少部分自由流动的玻璃类材料流过周边边缘，进入半导体扁平基材的凹陷中，其特征在于设置扁平基材，其至少一个凹陷具有至少一个润湿表面，该润湿表面相对于扁平基材的表面下陷，并至少部分地由线型边缘限界，同时，该线型边缘是设置在凹陷中并且相对于润湿表面下陷的沟结构的边缘，和/或由可属于润湿表面的自由流动的玻璃类材料的润湿性质的不连续变化确定，其特征在于在退火工艺过程中，使自由流动的玻璃类材料与润湿表面接触，其方式为沿线型边缘形成润湿前锋，并且其特征在于随着在润湿前锋和周边边缘之间延伸而不与扁平基材接触的玻璃类材料的表面的形成终止退火工艺，所述玻璃类材料的表面与所述凹陷的子区域封闭成空腔。