[发明专利]HDD用玻璃基板的制造方法、HDD用玻璃基板以及HDD用磁记录介质在审
申请号: | 201280042049.2 | 申请日: | 2012-06-27 |
公开(公告)号: | CN103988257A | 公开(公告)日: | 2014-08-13 |
发明(设计)人: | 岛津典子;福本直之 | 申请(专利权)人: | HOYA株式会社 |
主分类号: | G11B5/84 | 分类号: | G11B5/84;B08B3/04;C03C23/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 丁香兰;孟伟青 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种HDD用玻璃基板的制造方法,使清洗、干燥后的玻璃基板的外周端部不会残留缺陷。HDD用玻璃基板的制造方法包括用清洗液(31)清洗玻璃基板(50)的清洗工序,在清洗工序中,针对玻璃基板(50)使清洗液(31)沿着与玻璃基板(50)的主表面平行且彼此不同的多个方向依次流动,以便进行清洗。在清洗槽(30)的上下设置清洗液供给排出装置(32、33),使清洗液(31)在清洗槽(30)内,相对于玻璃基板(50)沿着上下方向中的从下向上的1个方向和从上向下的1个方向依次切换流动。 | ||
搜索关键词: | hdd 玻璃 制造 方法 以及 记录 介质 | ||
【主权项】:
一种HDD用玻璃基板的制造方法,其特征在于包括:清洗工序,用清洗液清洗玻璃基板,其中,在清洗工序中,针对玻璃基板使清洗液沿着与玻璃基板的主表面平行且彼此不同的多个方向依次流动,以便进行清洗。
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