[发明专利]硬质碳层的脱层方法有效
| 申请号： | 201280038683.9 | 申请日： | 2012-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN103717788A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | J.拉姆;B.维德里希 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康贸易股份公司（特吕巴赫） |
| 主分类号： | C23G5/00 | 分类号： | C23G5/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 石克虎;林森 |
| 地址： | 瑞士特*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 基材表面的碳层、尤其是工具和部件的ta-C层的脱层方法。与此相应地，将待脱层的基材布置在真空室中的基材夹具上，该真空室进料有至少一种辅助带走气态碳的反应性气体，并且在该真空室中产生低压等离子放电用于激发反应性气体和支持被涂覆基材的脱层所需的一种或多种化学反应。在此，该低压等离子放电是直流-低压电弧放电，待脱层的基材表面基本上仅被电子轰击并且使用氧、氮和氢作为所述反应性气体。 | ||
| 搜索关键词： | 硬质 方法 | ||
【主权项】：
用于反应性脱层基材的碳层，尤其是反应性脱层部件‑和工具表面的ta‑C层的方法，在所述方法中将待脱层的基材布置在真空室中的基材夹具上，该真空室进料有至少一种辅助带走气态碳的反应性气体，并且在该真空室中引发等离子体放电用于支持被涂覆基材的脱层所需的一种或多种化学反应，并且所述反应性脱层在一步或多步中进行，其特征在于，产生等离子体放电作为直流‑低压电弧放电，其具有20 A‑1000 A，优选50 A‑300 A的放电电流和最大120V，优选在20 V‑80 V的放电电压。
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