[发明专利]磁控溅射系统的旋转阴极

摘要

本发明提供一种磁控溅射装置，其包括阴极源总成，和可拆除地耦接到所述阴极源总成的阴极靶材总成。所述阴极源总成包括可旋转驱动杆，和位于所述可旋转驱动杆中且在所述阴极源总成的外端处耦接到管支持物的供水管。所述阴极靶材总成包括旋转阴极，其包括可旋转靶材圆柱体，所述旋转阴极可拆除地安装到可旋转驱动杆。所述靶材圆柱体内侧的磁棒耦接到所述供水管的末端部分。扫掠机构被耦接到所述磁棒且包括控制马达。分度滑轮可操作地耦接到所述控制马达，且磁棒滑轮通过皮带耦接到所述分度滑轮。所述磁棒滑轮被贴附到所述管支持物，以使所述磁棒滑轮的任何运动通过所述管支持物和所述供水管转移到所述磁棒。所述扫掠机构在溅射期间将独立于目标圆柱体旋转的预定运动赋予所述磁棒。

主权项

一种磁控溅射装置，包括：阴极源总成，其包括：可旋转驱动杆；和供水管，其位于所述可旋转驱动杆中且在所述阴极源总成的外端处耦接到管支持物；阴极靶材总成，其可拆除地耦接到所述阴极源总成，所述阴极靶材总成包括：旋转阴极，其包括可旋转靶材圆柱体，所述旋转阴极可拆除地安装到所述可旋转驱动杆；和磁棒，其在所述靶材圆柱体内侧且耦接到所述供水管的末端部分；扫掠机构，其可操作地耦接到所述磁棒，所述扫掠机构包括：控制马达；分度滑轮，其可操作地耦接到所述控制马达；和磁棒滑轮，其通过皮带可操作地耦接到所述分度滑轮，所述磁棒滑轮贴附到所述管支持物以使所述磁棒滑轮的任何运动通过所述管支持物和所述供水管转移到所述磁棒；其中所述扫掠机构在溅射期间将独立于靶材圆柱体旋转的预定运动赋予所述磁棒。