[发明专利]校准装置、方法和应用

摘要

一种惯性传感器校准方法和惯性传感器校准装置。通过一个或多个固定的和/或可移动的光栅（惯性传感器）生成一个或多个衍射图案，所述光栅（惯性传感器）被附接到基底的原子稳定的源照射并被成像器检测。光栅和/或惯性传感器具有设计参数值和各自的实际参数值，诸如运动或距离，所述实际参数值可以在超精确测量后被确定。这样的超精确测量可被用来校准光栅或惯性传感器。

主权项

一种惯性传感器校准方法，包括：（a）提供微机电（MEM）器件，该微机电器件包括：基底；和物理耦合到所述基底上的至少一个惯性传感器，所述至少一个惯性传感器具有设计参数值和在测量后的各自的实际参数值，所述至少一个惯性传感器被配置成在稳定的光源照射后生成衍射图案；（b）提供稳定的光源，所述光源以其与所述基底之间没有相对运动的方式被耦合到所述基底；（c）把稳定的光源输出投射到所述惯性传感器上并由此生成衍射图案；（d）用电子图像传感器和光场检测器中的一个检测衍射图案；以及（e）使用检测到的衍射图案来测量所述各自的实际参数值，并确定所述设计参数值与各自的实际参数值之间的关系，用于校准所述惯性传感器。