[发明专利]用于扩宽激光射束的装置和方法有效

专利信息
申请号: 201280024784.0 申请日: 2012-03-15
公开(公告)号: CN103562774B 公开(公告)日: 2017-07-04
发明(设计)人: K·瓦尔梅罗特;C·蒂尔科恩;I·扎维沙 申请(专利权)人: 通快激光有限责任公司
主分类号: G02B27/09 分类号: G02B27/09;G02B17/08
代理公司: 永新专利商标代理有限公司72002 代理人: 郭毅
地址: 德国施*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种用于扩宽激光射束、特别是紫外激光射束(4)的装置(11),所述装置包括望远装置(6)和在发散的光路中设置在所述望远装置(7,8)后面的透镜(3),所述望远装置具有用于扩宽入射的、准直的激光射束(4)的两个球面折叠镜(7,8),所述透镜具有用于经扩宽的激光射束(5)的准直的球面透镜面(3a),其中,所述光路中的第一折叠镜是凸地弯曲的球面折叠镜(7),其中,所述光路中的第二折叠镜是凹地弯曲的球面折叠镜(8)。本发明也涉及用于扩宽激光射束的所属的方法。
搜索关键词: 用于 激光 装置 方法
【主权项】:
一种用于扩宽激光射束的装置(11,13),所述装置包括:望远装置(6)和在发散的光路中设置在所述望远装置后面的透镜(3),所述望远装置具有第一、第二球面折叠镜(7,8),所述透镜具有用于经扩宽的激光射束的准直的球面透镜面(3a),其中,光路中的第一球面折叠镜是凸地弯曲的球面折叠镜(7),所述凸地弯曲的球面折叠镜(7)设置成用于扩宽入射的、准直的激光射束,其中,光路中的第二球面折叠镜是凹地弯曲的球面折叠镜(8),所述凹地弯曲的球面折叠镜(8)布置在来自第一球面折叠镜的发散的光路中并设置成使所述发散的光路保持发散并且设置成与所述透镜(3)一起在所述发散的光路中准直经扩宽的激光射束以得到准直的出射激光射束。
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