[发明专利]石墨烯薄膜制造装置及石墨烯薄膜制造方法有效
| 申请号： | 201280024034.3 | 申请日： | 2012-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN103534206A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 尹钟赫 | 申请（专利权）人： | 三星泰科威株式会社 |
| 主分类号： | C01B31/02 | 分类号： | C01B31/02;B01J15/00;B01J19/18 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 韩明星;金玉兰 |
| 地址： | 韩国庆尚*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种石墨烯薄膜制造装置，包括：原料流体供应部，供应含碳的原料流体；气体喷出部，从所述原料流体供应部得到所述原料流体的供应，并将所述原料流体热分解而喷出；加热装置，配置为对与所述气体喷出部中喷出的气体接触的催化剂基板进行加热，或者至少对与所述喷出的气体相接触的催化剂基板的区域进行局部加热。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 薄膜 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种石墨烯薄膜制造装置，包括：原料流体供应部，供应含碳的原料流体；气体喷出部，从所述流体供应部得到所述原料流体的供应，并将所述原料流体热分解而以气体状态喷出；催化剂基板，配置为与从所述气体喷出部喷出的气体相接触；加热装置，配置为至少对与所述喷出的气体相接触的催化剂基板的区域进行局部加热。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星泰科威株式会社，未经三星泰科威株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201280024034.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：金属互连工艺中形成空气间隙的制造方法
- 下一篇：焊球印刷搭载装置
