[发明专利]复合靶有效
| 申请号： | 201280022837.5 | 申请日： | 2012-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN103562432A | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | G·A·罗扎克;M·E·盖多斯 | 申请（专利权）人： | H·C·施塔克公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 张海文 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种溅射靶，其包含至少两个固结的段，每个段含有合金，所述合金包括大于大约30%重量的钼和至少一种附加的合金元素；以及所述至少两个固结的段之间的接合处，所述接合处没有任何由于添加粘合剂（例如，粉末、金属薄片或其他）而形成的微观结构，并且基本上没有任何大于大约200μm宽（例如，小于大约50μm宽）的可见的接合线。制造所述靶的过程包括在温度低于1080℃下，将在压制前表面处理（例如，粗化到一预定的粗糙度值）的固结的预制段进行热等静压压制。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 | ||
【主权项】：
一种溅射靶，包括：a.至少两个固结的段，每个段含有合金，所述合金包括大于大约30%重量的钼和至少一种附加的合金元素；以及b.所述至少两个固结的段之间的接合处，其将各段接合在一起以定义一靶主体，所述接合处没有任何由于添加了粘合剂而形成的微观结构，并且没有任何大于大约200μm宽的接合线，其中，按照ASTM B528‑10，所述溅射靶沿接合线的横向断裂强度至少为400MPa左右。
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