[发明专利]纳米压印用模具及曲面体无效
申请号: | 201280014141.8 | 申请日: | 2012-05-15 |
公开(公告)号: | CN103429417A | 公开(公告)日: | 2013-12-04 |
发明(设计)人: | 高桥孝德;山田纮子;三泽毅秀;小岛绫太 | 申请(专利权)人: | 综研化学株式会社 |
主分类号: | B29C59/02 | 分类号: | B29C59/02;B29C33/40;H01L21/027 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 冯雅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的曲面用纳米压印用模具的特征是由250μm厚的Hs橡胶硬度在10~55的范围内的有机硅橡胶弹性体构成,且在表面形成有微细的凹凸。根据本发明的曲面用纳米压印用模具,即使对曲面也能形成纳米压印。 | ||
搜索关键词: | 纳米 压印 模具 曲面 | ||
【主权项】:
纳米压印用模具,其特征在于,由Hs橡胶硬度在10~55的范围内的有机硅橡胶弹性体构成,且在表面形成有微细的凹凸。
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