[发明专利]用于形成圆筒状标靶组件的方法及装置

摘要

本发明的实施例大体包含用于制备圆筒状溅射标靶管且将圆筒状溅射标靶管接合至背衬管以形成旋转标靶组件的方法及装置。在一个实施例中，圆筒状标靶组件包括接合材料，该接合材料具有圆筒状表面且与背衬管大致上同心。在一个实施例中，用于形成圆筒状标靶组件的方法包括用间隔物填充界定于溅射标靶管之间的缝隙。该方法还包括在将所述溅射标靶管接合至背衬管后移除该间隔物。在一个实施例中，用于制造圆筒状标靶组件的装置包含支撑管、两个端配件及可操作以将所述支撑管夹持于所述两个端配件之间的多个夹持元件。

主权项

1.一种用于形成圆筒状标靶组件的方法，包括：用接合材料将至少两个溅射标靶管的内表面及背衬管的外表面润湿以形成湿润表面；将所述溅射标靶管安置于所述背衬管周围，且有间隙界定于所述溅射标靶管与所述背衬管之间；用间隔物填充界定于所述溅射标靶管之间的缝隙；藉由用接合材料填充所述间隙而将所述溅射标靶管接合至所述背衬管，其中所述接合材料在所述缝隙中形成圆筒状表面；移除出现在界定所述间隙的所述湿润表面上的氧化物；及移除所述间隔物，其中移除氧化物的步骤包括以下之一：施加电偏压电位到所述溅射标靶管及所述背衬管两端；施加直流电流贯穿所述溅射标靶管及所述背衬管以驱使还原反应；提供含氢气体混合物至所述间隙；用额外接合材料冲洗所述间隙；使所述溅射标靶管相对于所述背衬管机械地旋转。