[发明专利]研磨装置有效
| 申请号： | 201280009339.7 | 申请日： | 2012-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN103391831A | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 安东和俊;木村敏典;水野贞明 | 申请（专利权）人： | NTT尖端技术株式会社;富贵工程株式会社 |
| 主分类号： | B24B19/00 | 分类号： | B24B19/00;B24B41/06 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 余朦;王艳春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够削减为了维持研磨精度而需要定期地更换的消耗部件数量的研磨装置。研磨装置具备：研磨盘（20），其正面具有研磨工件的端面的研磨面（20a）；支撑机构（30），其支撑研磨盘（20）的背面（20b），使研磨盘（20）沿着预定平面自由移动；工件支架（50），其保持工件，使得工件的端面与研磨盘（20）的研磨面抵接；以及驱动机构（70），其使研磨盘（20）一边进行圆周运动一边进行往复直线运动。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种研磨装置，其特征在于，具备：研磨盘，其正面具有研磨工件的端面的研磨面；支撑机构，其支撑所述研磨盘的背面使所述研磨盘沿着预定平面自由移动；工件支架，其保持工件，使得工件的端面与所述研磨盘的研磨面抵接；以及驱动机构，其使所述研磨盘一边进行圆周运动一边进行往复直线运动。
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