[发明专利]弹性表面波装置有效
| 申请号： | 201280006034.0 | 申请日： | 2012-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN103329436A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 木村哲也;门田道雄 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H9/25 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实现了一种具有优异特性且制造容易的弹性表面波装置。弹性表面波装置(10)具备由铌酸锂构成的压电基板(101)。在压电基板(101)的表面上配列形成有多个槽(110)。在各槽(110)中形成有由铜构成的IDT电极(102)。IDT电极(102)由被埋入槽(110)中的第一电极层(102i)与从压电基板(101)的表面突出的第二电极层(102o)构成。第一电极层(102i)的标准化电极膜厚Di在1.0％以上12.0％以下，第二电极层(102o)的标准化电极膜厚Do在1.0％以上9.0％以下。IDT电极(102)的整体的标准化电极膜厚D在6.0％以上13.0％以下。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 表面波 装置 | ||
【主权项】：
一种弹性表面波装置，具备：压电基板，在其表面形成有槽；IDT电极，其具有位于所述槽内的第一电极层和位于所述槽外的第二电极层，所述压电基板由铌酸锂构成，所述第一电极层以及所述第二电极层由铜构成，当将根据弹性表面波的波长而对电极膜厚进行标准化的值作为标准化电极膜厚时，所述第二电极层的标准化电极膜厚Do、所述第一电极层的标准化电极膜厚Di满足如下关系，1.0％≤Do≤9.0％并且，1.0％≤Di≤12.0％并且，6.0％≤(Do+Di)≤13.0％。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社村田制作所，未经株式会社村田制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201280006034.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种发生器活门密封套结构
- 下一篇：一种气动式管口闷盖
