[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法和有机EL显示装置有效
| 申请号： | 201280004309.7 | 申请日： | 2012-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN103282543A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 园田通;川户伸一;井上智;桥本智志 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/00;C23C14/04;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 从至少1个蒸镀源开口（61）放出的蒸镀颗粒（91），通过限制单元（80）的多个限制开口（82）和蒸镀掩模（70）的多个掩模开口（71），附着在沿第二方向（10a）相对移动的基板（10）上形成覆膜。限制单元包括叠层的多个板材。由此，能够高效率并且低成本地在大型基板上形成端缘的模糊被抑制的蒸镀覆膜。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 有机 el 显示装置 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，其为在基板上形成规定图案的覆膜的蒸镀装置，其特征在于：所述蒸镀装置具备：蒸镀单元，该蒸镀单元具备蒸镀源、蒸镀掩模和限制单元，所述蒸镀源具备至少1个蒸镀源开口，所述蒸镀掩模配置在所述至少1个蒸镀源开口与所述基板之间，所述限制单元配置在所述至少1个蒸镀源开口与所述蒸镀掩模之间并且沿与所述基板的法线正交的第一方向配置有多个限制部；和移动机构，该移动机构在使所述基板与所述蒸镀掩模隔开一定间隔的状态下，使所述基板和所述蒸镀单元中的一个，沿与所述基板的法线方向和所述第一方向正交的第二方向，相对于所述基板和所述蒸镀单元中的另一个相对移动，使从所述至少1个蒸镀源开口放出、且通过由所述多个限制部隔开的多个限制开口和在所述蒸镀掩模上形成的多个掩模开口的蒸镀颗粒附着在所述基板上形成所述覆膜，所述限制单元包括叠层的多个板材。
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