[发明专利]用于红外线输送机炉的双独立运输系统与烧制薄工件的方法

摘要

本发明提供尤其适用于诸如硅晶圆的薄工件在输送带或指状物/链上转移穿过用于将该等晶圆转化成太阳能电池的处理设备的多线并排独立驱动运输系统，该处理设备包括UV预处理器、掺杂器、干燥器、扩散炉及金属化炉。本发明多线运输系统可使用具有一浮桥式晶圆支撑系统的金属丝网带，该等金属丝网带包含纵向隔开的承载器金属丝元件，该等承载器金属丝元件在晶圆的侧边缘处藉助于相对的内倾下斜区段或侧翼而仅以点接触支撑该等晶圆。或者，包含具有向内突出的指状物之间隔开的链的指状物驱动器可用于藉由侧边缘接触来运输该等晶圆。具有相关联的张力器总成的摩擦或链轮驱动器用以移动运输带或指状物链穿过炉区。每一线可经独立控制以沿晶圆处理路径提供独特热分布。

主权项

一种具有多个工件运输线的改良式IR炉，其在操作性组合中包含：a.一炉架构，其支撑至少一纵向加热区总成，每一该加热区总成具有分别在一水平工件运输路径上方及下方界定的一上部部分及一下部部分，且该总成具有起重器，该等起重器经安置以提供分别在该水平工件路径上方及下方的该上部加热区部分及该下加热区部分的相对垂直运动以提供对该加热区的接取；b.复数个连续纵向输送机运输系统，其以并排关系安置于该架构中，每一该等运输系统经组态以在一第一方向上沿该水平路径运输工件，该第一方向系自该炉的一入口端经由用于该工件的至少一表面的IR热处理的该炉的该加热区至该炉的一退出端，且接着在自该退出端回至该入口端的一输送机返回路径上运输；c.该等运输系统中的每一者具有在该输送机返回路径中安置的可个别控制的输送机驱动系统及输送机张紧系统；及d.一控制器，其用于藉由在独立于抑或同步于该等线中的一第二线的一第一线中的该驱动器来控制工件穿过该等加热区的移动速率，以沿穿过该等加热区的整个处理路径提供一独特热分布，该热分布经组态以用于正在该炉中处理的一特定工件。