[实用新型]探针卡的预热装置有效
| 申请号： | 201220717605.9 | 申请日： | 2012-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN203011962U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 杨其燕 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种探针卡的预热装置，包括：用于放置所述探针卡的支撑架，所述支撑架包括内层、外层以及所述内层和外层之间的保温隔热层；用于对所述探针卡进行加热的电加热器，所述电加热器位于所述支撑架底部；用于监测所述探针卡的探针所处环境的温度的感温元件，所述感温元件安装在所述电加热器上。采用本实用新型的探针卡的预热装置，能够缩短探针卡的预热时间，提高使用探针卡对晶圆测试的效率，减少测试问题，节约生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 预热 装置 | ||
【主权项】：
一种探针卡的预热装置，其特征在于，包括：用于放置所述探针卡的支撑架，所述支撑架包括内层、外层以及所述内层和外层之间的保温隔热层；用于对所述探针卡进行加热的电加热器，所述电加热器位于所述支撑架底部；用于监测所述探针卡的探针所处环境的温度的感温元件，所述感温元件安装在所述电加热器上。
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