[实用新型]一种溅镀靶极自循环冷却装置有效
| 申请号： | 201220714837.9 | 申请日： | 2012-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN203007395U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 周文彬;刘幼海;刘吉人 | 申请（专利权）人： | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201707 上海市青*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型系提供一种溅镀靶极自循环冷却装置，包含一循环系统单元、一连接该循环系统单元且包括一冰水进水单元、及一设置于冰水进水单元及循环系统单元的温控阀进水系统单元。该冰水进水单元为厂务端进水系统，水温保持在10~15℃，用以将冷却水输出往循环系统、一旁路连接管路及一供给经回流之冷却水。温控阀进水单元未动作时，循环系统以自循环方式循环管内的冷却水至溅镀靶极，可独立控制循环至溅镀靶极的水流及水压，当温控阀进水单元动作时，阀门打开，冷却水进水单元的冷却水进入循环系统单元快速冷却靶极温度，待温度下降后，阀门既关闭，循环系统回到先前状态，循环管内冷却水至靶极，藉此，整体溅镀靶极可独立控制温度，热交换效率佳，且达到省水功效。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅镀靶极 循环 冷却 装置 | ||
【主权项】：
一种溅镀靶极自循环冷却装置，包含一循环系统单元、一连接该循环系统单元且包括一冰水进水单元、及一设置于冰水进水单元及循环系统单元的温控阀进水系统单元，该冰水进水单元为厂务端进水系统，水温保持在10~15℃，且一用以将冷却水输出往循环系统、一旁路连接管路及一供已经回流之冷却水。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吉富新能源科技(上海)有限公司，未经吉富新能源科技(上海)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220714837.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：生物质高效燃烧和余热回收的循环流化床锅炉装置
- 下一篇：万向角铰链型膨胀节
- 同类专利
- 专利分类
