[实用新型]一种防止显影液与空气反应的装置有效
| 申请号： | 201220660592.6 | 申请日： | 2012-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN203037994U | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 史祥 | 申请（专利权）人： | 彩虹（佛山）平板显示有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 528300 广东省佛*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种防止显影液与空气反应的装置，黄光显影制成中对于线宽的控制尤为重要，而线宽不但与显影液的浓度有关，还和其中的碳酸根含量有较大的关系，故于TMAH喷嘴下方设计一组显影液接收装置，每当喷嘴做预喷吐前，该接收装置会先行上升套住TMAH喷嘴，之后喷嘴方开始进行喷吐，而所有喷出的药液会返回到制程显影液槽中，进行回收再使用，本实用新型用于避免TMAH喷出时与腔室中的空气过多的接触而导致碳酸根的浓度上升，有效的抑制碳酸根生成来达到稳定的线宽控制及较高之回收率效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 显影液 空气 反应 装置 | ||
【主权项】：
一种防止显影液与空气反应的装置，其特征在于：包括设置于腔体（9）内的将显影液喷嘴（1）以及基板（8）与腔体（9）分隔的显影液接收装置。
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