[实用新型]直拉单晶炉热场装置有效
| 申请号： | 201220614909.2 | 申请日： | 2012-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN203007469U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 李定武;周锐;李侨 | 申请（专利权）人： | 西安隆基硅材料股份有限公司;无锡隆基硅材料有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;银川隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 罗笛 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种直拉单晶炉热场装置，包括炉体及设置于炉体内部的坩埚、加热器及保温机构，加热器及保温机构依次环绕坩埚设置，还包括与炉体外部相连通的排气机构，排气机构嵌设于保温机构内。本实用新型直拉单晶炉热场装置在保温机构内嵌设排气机构，避免了挥发物聚集，降低了晶体中氧含量，可减少碳扩散入晶体中；减少了挥发物对热场部件的侵蚀，延长了热场部件的使用寿命，避免了挥发物因受冷沉积于排出路径，有利于排出挥发物并减轻清洗难度。 | ||
| 搜索关键词： | 直拉单晶炉热场 装置 | ||
【主权项】：
一种直拉单晶炉热场装置，包括炉体（11）及设置于炉体（11）内部的坩埚（12）、加热器（13）及保温机构（14），所述加热器（13）及保温机构（14）依次环绕所述坩埚（2）设置，其特征在于，还包括与所述炉体（11）外部相连通的排气机构（16），所述排气机构（16）嵌设于所述保温机构（14）内。
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