[实用新型]热板排风装置有效

专利信息
申请号: 201220614347.1 申请日: 2012-11-19
公开(公告)号: CN202984039U 公开(公告)日: 2013-06-12
发明(设计)人: 丘志春;陈显旻;吴长明 申请(专利权)人: 上海华虹NEC电子有限公司
主分类号: B05D3/06 分类号: B05D3/06
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 丁纪铁
地址: 201206 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种热板排风装置,包括一热板主盖板、排风导入口及一排风转接套口,所述热板主盖板及排风转接套口通过所述排风导入口相接,所述热板主盖板的底面分布有均匀而密集的排风口。本实用新型热板排风装置能大大提高排风效果和速度及稳定性,直接提高了Polyimide划片槽宽度的稳定性。
搜索关键词: 热板排风 装置
【主权项】:
一种热板排风装置,其特征在于,包括一热板主盖板、排风导入口及一排风转接套口,所述热板主盖板及排风转接套口通过所述排风导入口相接,所述热板主盖板的底面分布有均匀而密集的排风口。
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