[实用新型]热板排风装置有效
申请号: | 201220614347.1 | 申请日: | 2012-11-19 |
公开(公告)号: | CN202984039U | 公开(公告)日: | 2013-06-12 |
发明(设计)人: | 丘志春;陈显旻;吴长明 | 申请(专利权)人: | 上海华虹NEC电子有限公司 |
主分类号: | B05D3/06 | 分类号: | B05D3/06 |
代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人: | 丁纪铁 |
地址: | 201206 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种热板排风装置,包括一热板主盖板、排风导入口及一排风转接套口,所述热板主盖板及排风转接套口通过所述排风导入口相接,所述热板主盖板的底面分布有均匀而密集的排风口。本实用新型热板排风装置能大大提高排风效果和速度及稳定性,直接提高了Polyimide划片槽宽度的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 热板排风 装置 | ||
【主权项】:
一种热板排风装置,其特征在于,包括一热板主盖板、排风导入口及一排风转接套口,所述热板主盖板及排风转接套口通过所述排风导入口相接,所述热板主盖板的底面分布有均匀而密集的排风口。
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