[实用新型]一种储液罐加液装置

摘要

一种涉及半导体生产领域的储液罐加液装置，所述的装置包含储液罐、液位传感器、控制器及相关管路；所述的储液罐的顶端设有辅助管路，储液罐罐壁的一侧上部设有排气管路，储液罐的底端设有供液管路和加液管路；所述的供液管路与加液管路各自靠近储液罐的一端端部均设有隔膜阀，且隔膜阀均与设在储液罐外部的控制器连接；所述的液位传感器设置在储液罐的顶端中部，且与控制器连接；所述的装置能够稳定可靠的对清洗槽进行精准的补液，从而确保了清洗槽内的清洗液得到精准的补充，进而有效的保障了清洗的效果。

主权项

一种储液罐加液装置，其特征是：所述的装置包含储液罐(1)、液位传感器(2)、控制器(3)及相关管路；所述的储液罐(1)的顶端设有用于注入辅助气体的辅助管路(4)，储液罐(1)罐壁的一侧上部设有用于释放罐内压力的排气管路(5)，储液罐(1)的底端设有用于注入清洗液的供液管路(6)和加液管路(7)；所述的供液管路(6)与加液管路(7)各自靠近储液罐(1)的一端端部均设有隔膜阀(8)，且隔膜阀(8)均与设在储液罐(1)外部的控制器(3)连接；所述的液位传感器(2)设置在储液罐(1)的顶端中部，且与控制器(3)连接；所述的辅助管路(4)设有与控制器(3)连接的电磁阀(13)。