[实用新型]一种用于正压晶体生长炉的操作及观察窗口有效
申请号: | 201220580181.6 | 申请日: | 2012-11-06 |
公开(公告)号: | CN202913081U | 公开(公告)日: | 2013-05-01 |
发明(设计)人: | 曹建伟;傅林坚;欧阳鹏根;石刚;陈明杰;王丹涛;邱敏秀;蒋庆良 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | C30B13/00 | 分类号: | C30B13/00 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及非金属晶体制造设备中的一个部分,旨在提供一种用于正压晶体生长炉的操作及观察窗口。该操作及观察窗口包括观察窗口组件、炉室法兰、压板和操作窗口座,炉室法兰固定在炉体上,观察窗口组件包括观察窗口座、窗口玻璃和垫片;观察窗口组件之间以及窗口玻璃与压板之间设有垫片;在操作窗口座内设有循环水道,外表面上设有操作窗口进水口和操作窗口出水口;压板上设有观察窗口进水口和观察窗口出水口。本实用新型操作空间大,观察视野开阔,方便设备的维护和生产,同时,将操作窗口和观察窗口集成在一起,布局紧凑、合理,强度高,密封性好,安全性高,为安全生产提供保证。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 正压 晶体生长 操作 观察 窗口 | ||
【主权项】:
一种用于正压晶体生长炉的操作及观察窗口,包括窗口玻璃,其特征在于,所述操作及观察窗口还包括炉室法兰、压板、垫片、观察窗口座和操作窗口座;所述压板包括中层玻璃压板和外层玻璃压板,窗口玻璃包括内层玻璃、中层玻璃和外层玻璃;所述外层玻璃固定在中层玻璃压板和外层玻璃压板之间,中层玻璃固定在观察窗口座和中层玻璃压板之间,内层玻璃固定在观察窗口座上,观察窗口座固定在操作窗口座中间,操作窗口座与炉室法兰连接;窗口玻璃与观察窗口座、压板之间,以及窗口玻璃之间设有垫片;在操作窗口座内设有循环水道,外表面上设有操作窗口进水口和操作窗口出水口;中层玻璃压板上设有观察窗口进水口和观察窗口出水口;炉室法兰固定在炉体上。
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