[实用新型]一种用于等离子装置的中性原子注入装置

摘要

本实用新型涉及中性原子注入装置，特别涉及一种用于等离子装置的中性原子注入装置，所述的注气通道是由三个四通的接口依次连接的笔直通道，在其中的第二四通内设有能将四通的横竖通路同时隔开的隔板，所述的隔板上设有通孔，电机运动通过驱动杆带动挡板能到达通并覆盖孔位置，本实用新型将原本用于等离子设备的独立的汽化源注入系统和气体注入系统合并。将固体汽化源用于等离子设备中性原子注入。本装置完全可以避免破坏分子，在一种实验的间歇可以进行另外一种实验，将两种源的注入系统合二为一，提高了利用率、节省了资源、降低了成本。

主权项

一种用于等离子装置的中性原子注入装置，包括等离子磁约束装置、固体汽化原子束源、注气装置和注气通道，其特征在于所述的注气通道是由第一四通、第二四通和第三四通的接口依次连接而成的笔直通道，第一四通位于注气通路上的另一接口密封连接电机、两侧的通路分别连接分子计和可变速分子泵，所述的电机输出端连接驱动杆一端，驱动杆另一端上设有挡板，第二四通的一侧接口的通路与固体汽化原子束源、另一侧接口与转接直通管道一端通过阀门密封连接，在第二四通内设有能将四通的横竖通路同时隔开的隔板，所述的隔板上设有通孔，电机运动通过驱动杆带动挡板能到达通并覆盖孔位置，所述的转接直通管道另一端密封连接注入管，所述的注入管管口连接波纹管一端，波纹管另一端连接注入头，第三四通位于注气通路上的另一接口密封连接注气系统注气口，两侧的通路上分别设有分子计和可变抽速分子泵。