[实用新型]一种多晶硅锭定向凝固炉有效
申请号: | 201220540197.4 | 申请日: | 2012-10-22 |
公开(公告)号: | CN202865393U | 公开(公告)日: | 2013-04-10 |
发明(设计)人: | 谭晓松;陈国红;瞿海斌 | 申请(专利权)人: | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 马强 |
地址: | 410205 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种多晶硅锭定向凝固炉,包括炉腔、真空泵机组、连接炉腔和真空泵机组的抽气管道,所述抽气管道上加装可过滤固体颗粒杂质的过滤器。在原有的抽气管道上中间增加一个过滤器,抽真空和真空模式运行时可将从炉体内抽出的石墨粉和固体颗粒杂质通过过滤器过滤留在过滤器中,过滤器头部有开口及密封盖,方便清理赃物和更换滤网。这样就能减少炉体内抽出的赃物对真空泵油的污染,从而减小对真空泵机组的损坏,提高真空泵及真空泵油的使用寿命,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 定向 凝固 | ||
【主权项】:
一种多晶硅锭定向凝固炉,包括炉腔(4)、真空泵机组(1)、连接炉腔(4)和真空泵机组(1)的抽气管道(3),其特征是,所述抽气管道(3)上加装可过滤固体颗粒杂质的过滤器(2)。
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