[实用新型]数控多晶双端面研磨机磨头进给机构有效

专利信息
申请号: 201220529838.6 申请日: 2012-10-17
公开(公告)号: CN202934444U 公开(公告)日: 2013-05-15
发明(设计)人: 吴学军;周凯平 申请(专利权)人: 宁夏日晶新能源装备股份有限公司
主分类号: B24B47/20 分类号: B24B47/20
代理公司: 上海科琪专利代理有限责任公司 31117 代理人: 伍贤喆
地址: 753001 宁夏回族*** 国省代码: 宁夏;64
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摘要: 实用新型涉及多晶硅领域,尤其涉及一种多晶双端面研磨机。一种数控多晶双端面研磨机磨头进给机构,包括支座、滑板、线性滑动导轨、滚珠丝杠、丝杆座和电机;所述线性滑动导轨共有一对,一对线性滑动导轨平行固定安装在支座上,所述滚珠丝杠通过轴承安装在支座上,滚珠丝杠与线性滑动导轨平行设置;所述电机通过传动机构与滚珠丝杠相连,所述丝杆座固定安装在滚珠丝杠的丝杠螺母上,所述滑板安装在线性滑动导轨的滑块上,滑板与丝杆座固定相连,磨头固定安装在滑板的顶部。本实用新型利用自动化控制的电机运动提高了加工精度,彻底解决了原机构引起的磨头进给困难、被加工件易损坏的现象。
搜索关键词: 数控 多晶 端面 研磨机 进给 机构
【主权项】:
一种数控多晶双端面研磨机磨头进给机构,其特征是:包括支座(1)、滑板(2)、线性滑动导轨(3)、滚珠丝杠(4)、丝杆座(5)和电机(6);所述线性滑动导轨(3)共有一对,一对线性滑动导轨(3)平行固定安装在支座(1)上,所述滚珠丝杠(4)通过轴承(7)安装在支座(1)上,滚珠丝杠(4)与线性滑动导轨(3)平行设置;所述电机(6)通过传动机构与滚珠丝杠(4)相连,所述丝杆座(5)固定安装在滚珠丝杠(4)的丝杠螺母上,所述滑板(2)安装在线性滑动导轨(3)的滑块上,滑板(2)与丝杆座(5)固定相连,磨头(8)固定安装在滑板(2)的顶部。
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