[实用新型]晶圆研磨液供应系统的可调式密封取量装置

摘要

一种晶圆研磨液供应系统的可调式密封取量装置，设于晶圆研磨液供应系统设置晶圆研磨液混成槽前阶段，由原料筒、取料量筒、抽送泵、数个气动控制阀，及管控气压源气压流向气动控制阀的电脑连接而成，其中取料量筒底开设流通口，且取料量筒顶开设溢流口，又于调取料量筒顶壁向内贯穿垂吊一螺杆引动伸降的活塞，将取料量筒内部空间分隔出计量隔间，此活塞适当位置开设对着溢流口的排出孔，使排出孔透通溢流口管接数个叉路管接数个气动控制阀选换导入氮气或选换导回原料筒，而流通口管接一气动控制阀通往晶圆研磨液混成槽。本实用新型达到取料量筒能更精准调变注入原料量，且能从取料量筒上端回收溢流过量晶圆研磨液原料。

主权项

一种晶圆研磨液供应系统的可调式密封取量装置，设于晶圆研磨液供应系统设置晶圆研磨液混成槽前阶段，由原料筒、取料量筒、抽送泵、数个气动控制阀，及管控气压源气压流向气动控制阀的电脑连接而成，不同于现有取料量筒内部结构及周围取量装置管路布设，其特征在于：该取料量筒底开设流通口，且取料量筒顶开设溢流口，又于调取料量筒顶壁向内贯穿垂吊一螺杆引动伸降的活塞，将取料量筒内部空间分隔出计量隔间，此活塞适当位置开设对着溢流口的排出孔，使排出孔透通溢流口管接数个叉路管接数个气动控制阀选换导入氮气或选换导回原料筒，而流通口管接一气动控制阀通往晶圆研磨液混成槽，并叉接数个气动控制阀选换导入纯水或选换经抽送泵泵取原料筒的晶圆研磨液原料，另外，在流通口管接一气动控制阀排放，且接往氮气最后只气动控制阀前，再叉接一气动控制阀排放而除电脑外所有管路空间都能在密闭下受控相通。