[实用新型]刻蚀液加热器有效
| 申请号： | 201220521053.4 | 申请日： | 2012-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN202835757U | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 倪尧;肖方;张伟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | F24H1/14 | 分类号： | F24H1/14;F24H9/18 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种刻蚀液加热器，包括至少两个加热管，所述刻蚀液加热器还包括：并行连接在每个加热管上的进液管和并行连接在每个加热管上的进液管的出液管。采用并行连接的方式，缩短了刻蚀液的流经线路，因此由进液口到出液口的压力损耗变小，刻蚀液的流动速度得到保证，从而能够及时的将加热管上的热量带走，可以使得加热管的温度稳定的处于临界温度以下。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 加热器 | ||
【主权项】：
一种刻蚀液加热器，包括至少两个加热管，其特征在于，所述刻蚀液加热器还包括：并行连接在每个加热管上的进液管和并行连接在每个加热管上的进液管的出液管。
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