[实用新型]测辐射热计有效
申请号: | 201220501541.9 | 申请日: | 2012-09-28 |
公开(公告)号: | CN203100906U | 公开(公告)日: | 2013-07-31 |
发明(设计)人: | P·迪克森;S·海斯达尔 | 申请(专利权)人: | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
主分类号: | G01J5/20 | 分类号: | G01J5/20 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 王英;刘炳胜 |
地址: | 荷兰艾*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | 本实用新型涉及测辐射热计(10),其包括:基底(12);通过去除基底(12)上的第一牺牲层(14)形成的第一膜(16),所述第一膜(16)包括用于测量入射电磁辐射(R)的量的测量元件(18);通过去除所述第一膜(16)上的第二牺牲层(20)形成的第二膜(22),所述第二膜(22)包封所述第一膜(16);在所述基底(12)和所述第一膜(16)之间形成的第一腔(24);以及在所述第一膜(16)和所述第二膜(22)之间形成的第二腔(26)。本实用新型还涉及制造测辐射热计的方法、以及热记录图像传感器和医学设备。 | ||
搜索关键词: | 辐射热 | ||
【主权项】:
一种测辐射热计(10),其包括: ‑基底(12); ‑通过去除所述基底(12)上的第一牺牲层(14)形成的第一膜(16),所述第一膜(16)包括用于测量入射电磁辐射(R)的量的测量元件(18),以及 ‑在所述基底(12)和所述第一膜(16)之间形成的第一腔(24), 其特征在于,所述测辐射热计还包括: ‑通过去除所述第一膜(16)上的第二牺牲层(20)形成的第二膜(22),所述第二膜(22)包封所述第一膜(16),以及 ‑在所述第一膜(16)和所述第二膜(22)之间形成的第二腔(26)。
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