[实用新型]一种过滤装置及真空处理装置有效
| 申请号： | 201220497885.7 | 申请日： | 2012-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN202951355U | 公开（公告）日： | 2013-05-29 |
| 发明（设计）人： | 陆科杰;徐朝阳;左涛涛;周宁 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 张龙哺;冯志云 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种过滤装置，所述过滤装置包括：主体，所述主体包括一气体入口以及一气体出口，所述气体入口以及所述气体出口位于所述主体的侧面，且所述气体入口位于所述气体出口的上方；过滤器，所述过滤器位于所述主体的上方，其包括顶盖以及滤芯，其中，所述滤芯与所述主体的上表面可拆卸地相连接，所述过滤器对流经所述主体的气体进行过滤，使气体中的副产品沉积于所述主体中。本实用新型还提供一种包括上述过滤装置的真空处理装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 过滤 装置 真空 处理 | ||
【主权项】：
一种过滤装置，所述过滤装置包括： 主体，所述主体包括一气体入口以及一气体出口，所述气体入口以及所述气体出口位于所述主体的侧面，且所述气体入口位于所述气体出口的上方； 过滤器，所述过滤器位于所述主体的上方，其包括顶盖以及滤芯，其中，所述滤芯与所述主体的上表面可拆卸地相连接，所述过滤器对流经所述主体的气体进行过滤，使气体中的副产品沉积于所述主体中。
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