[实用新型]线形阵列式大气压冷等离子体射流发生装置有效
| 申请号： | 201220452651.0 | 申请日： | 2012-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN202841676U | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 左潇;沈洁;陈龙威;舒兴胜;魏钰;方世东;孟月东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院等离子体物理研究所 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种线形阵列式大气压冷等离子体射流发生装置，包括有筒形外壳，筒形外壳单边壁上或相对的上下壁上沿轴线方向开有均匀的出气通道口以形成线形等离子体射流，筒形外壳两端分别通过环形电极接有高压交流电源和射频电源，电源的另一端接地。本实用新型能在大气压下稳定工作，产生的线形等离子体射流富含活性的反应基团，能应用于大面积薄膜沉积和材料表面改性，操作便捷高效，双激励源能保证放电均匀性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 线形 阵列 大气压 等离子体 射流 发生 装置 | ||
【主权项】：
一种线形阵列式大气压冷等离子体射流装置，包括有筒形外壳，所述筒形外壳一端筒口为进气口，另一端筒口为出气口，其特征在于：所述的筒形外壳单边筒壁上沿轴向方向设有等距出气通道口，出气通道口的孔径小于筒形外壳半径，筒形外壳的进气端和出气端分别固设有一个环形电极，两个环形电极分别与一个外部电源相接，外部电源另一端通过导线接地。
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