[实用新型]一种直拉法制备单晶硅所使用的坩埚有效
| 申请号： | 201220439464.9 | 申请日： | 2012-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN202744654U | 公开（公告）日： | 2013-02-20 |
| 发明（设计）人： | 周俭;李德建;陈昌林;陈锐;陈剑春;付雁清;薛东;李福龙 | 申请（专利权）人： | 上海杰姆斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京元中知识产权代理有限责任公司 11223 | 代理人： | 王明霞 |
| 地址： | 200333 上海市普陀区绿洲*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种直拉法制备单晶硅所使用的坩埚，包括由底部与侧壁组成的坩埚本体，所述的坩埚为分段式坩埚结构，坩埚本体根据材料的不同自上到下至少分成两段，包括上层的碳-碳复合结构的侧壁和下层的石墨结构的底部，侧壁上均匀分布有多个导热孔；所述的导热孔直径为5～20mm，导热孔边界之间的距离根据不同的孔密度为10～50mm；所述侧壁上均匀分布所述导热孔的区域为距离侧壁上沿2～6cm，向下垂直方向的宽度为16～25cm，该区域侧壁的内表面平行于坩埚的中心轴。本实用新型所述的坩埚具有导热性好，温度控制性能好，使用寿命长，装料量大的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 法制 单晶硅 使用 坩埚 | ||
【主权项】：
一种直拉法制备单晶硅所使用的坩埚，包括由底部与侧壁组成的坩埚本体，其特征在于：所述的坩埚为分段式坩埚结构，坩埚本体自上到下至少分成两段，包括上层的碳‑碳复合结构的侧壁和下层的石墨结构的底部，侧壁上均匀分布有多个导热孔。
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