[实用新型]一种用于磁传感器的电桥模块有效
申请号: | 201220434849.6 | 申请日: | 2012-08-29 |
公开(公告)号: | CN202903205U | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
发明(设计)人: | 王建国 | 申请(专利权)人: | 王建国 |
主分类号: | G01D5/12 | 分类号: | G01D5/12 |
代理公司: | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人: | 张文祎 |
地址: | 214028 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于磁传感器的电桥模块,该电桥模块包括四个桥臂和多个焊盘,每个桥臂包括串联的2N(N=1,2,3,4,5……)个MTJ元件组,该电桥模块具有多层膜结构,包括设于基片上的形成多个下导电层的第一导电层,所述下导电层上设有形成所述MTJ元件组的MTJ元件层,所述下导电层上还设有形成所述多个焊盘的第二导电层,所述MTJ元件层上设有形成多个上导电层的第三导电层;所述电桥模块的对应桥臂的MTJ元件组的位置相邻。与现有技术的电桥模块相比,本实用新型提供的电桥模块能够较容易地实现对应桥臂的电阻值相等,非常适于在磁传感器中应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 传感器 电桥 模块 | ||
【主权项】:
用于磁传感器的电桥模块,该电桥模块包括四个桥臂和多个焊盘,每个桥臂包括串联的2N个MTJ元件组,N=1,2,3,4,5……,其特征在于,该电桥模块具有多层膜结构,包括设于基片上的形成多个下导电层的第一导电层,所述下导电层上设有形成所述MTJ元件组的MTJ元件层,所述下导电层上还设有形成所述多个焊盘的第二导电层,所述MTJ元件层上设有形成多个上导电层的第三导电层;所述电桥模块的对应桥臂的MTJ元件组的位置相邻。
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