[实用新型]直拉法单晶炉热场结构有效
| 申请号： | 201220396724.9 | 申请日： | 2012-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN202730297U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 冯银辉 | 申请（专利权）人： | 深圳市石金科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种直拉法单晶炉热场结构，包括：炉体、位于炉体内的坩埚、位于炉体内及坩埚外的保温筒、位于坩埚外及保温筒中部之间的加热器以及位于保温筒内及坩埚之上的导流筒，导流筒包括内导流筒、外导流筒；保温筒包括上保温筒、中保温筒及下保温筒；中保温筒上设有中保温盖，中保温盖和上保温筒之间设置排气口装置。本实用新型改善了热场系统的保温性能和保护气体的流动性，便于对温度、结晶的控制，提高了单晶棒的成晶质量、良品率及产能，有效的降低了单晶硅炉的单位能耗，并节省了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 直拉法单晶炉热场 结构 | ||
【主权项】：
一种直拉法单晶炉热场结构，包括：炉体、位于炉体内的坩埚、位于炉体内及坩埚外的保温筒、位于坩埚外及保温筒中部之间的加热器以及位于保温筒内及坩埚之上的导流筒，其特征在于，所述导流筒包括内导流筒及套在所述内导流筒外的外导流筒；所述保温筒包括上保温筒、中保温筒及下保温筒；所述上保温筒上设有上保温盖，所述上保温盖与外导流筒的开口边缘连接；所述中保温筒上设有中保温盖，所述中保温盖和上保温筒之间设置排气口装置。
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