[实用新型]一种磁控溅射离子镀轴承钢球镀膜装置

摘要

一种磁控溅射离子镀轴承钢球镀膜装置，设置在磁控溅射离子镀真空腔中，包括设置在转轴上放置轴承钢球的托盘，所述托盘通过四根拉簧支撑在所述转轴上端的支撑钢球上，所述转轴上水平设有滚轮轴且所述滚轮轴的一端设有滚轮，所述滚轮使所述托盘倾斜，所述转轴在输入轴的驱动下做旋转运动，所述托盘在所述支撑钢球和所述滚轮的作用下作偏摆运动，从而使所述托盘内的轴承钢球同时作公转和自转运动。本实用新型的轴承钢球在真空腔内同时作公转和自转运动，使镀料粒子均匀地溅射到轴承钢球表面，保证了轴承钢球表面镀层的均匀性和性能一致性，提高了轴承钢球镀层的组织结构及机械性能，进而提高了轴承的精度和质量可靠性。

主权项

一种磁控溅射离子镀轴承钢球镀膜装置，设置在磁控溅射离子镀真空腔中，其特征在于：包括设置在转轴（8）上放置轴承钢球（9）的托盘（10），所述托盘（10）通过四根拉簧（5）支撑在所述转轴（8）上端的支撑钢球上，所述转轴（8）上水平设有滚轮轴（11）且所述滚轮轴（11）的一端设有滚轮（12），所述滚轮（12）与所述托盘（10）底面接触且使所述托盘（10）倾斜，所述转轴（8）在输入轴（4）的驱动下做旋转运动，所述托盘（10）在所述支撑钢球和所述滚轮（12）的作用下作偏摆运动，从而使所述托盘（10）内的轴承钢球（9）同时作公转和自转运动。