[实用新型]直拉单晶炉导流筒有效

专利信息
申请号: 201220386212.4 申请日: 2012-08-06
公开(公告)号: CN202730296U 公开(公告)日: 2013-02-13
发明(设计)人: 皎晶晶 申请(专利权)人: 深圳市石金科技有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00
代理公司: 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 代理人: 胡海国
地址: 518000 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种直拉单晶炉导流筒,包括固定连接的外导流筒和内导流筒,所述内导流筒的材质为钼,其包括形成筒状的至少两导流瓣,相邻两所述导流瓣固定连接。通过将内导流筒的材质选为钼,且内导流筒包括固定连接的至少两导流瓣,相对现有技术中的导流筒采用石墨材料的技术方案,本实用新型直拉单晶炉导流筒具有降低晶体中碳氧含量、提高拉速的优点且使用寿命更长、由多个导流瓣形成筒状的内导流筒使得本实用新型制造更方便。
搜索关键词: 直拉单晶炉 导流
【主权项】:
一种直拉单晶炉导流筒,包括固定连接的外导流筒和内导流筒,其特征在于,所述内导流筒的材质为钼,其包括形成筒状的至少两导流瓣,相邻两所述导流瓣固定连接。
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