[实用新型]一种新型多晶硅铸锭炉热场结构有效
申请号: | 201220381777.3 | 申请日: | 2012-08-03 |
公开(公告)号: | CN202717880U | 公开(公告)日: | 2013-02-06 |
发明(设计)人: | 杜克峰;舒锋;房灵辉;赖庆洋;杨振 | 申请(专利权)人: | 江苏中立新能源股份有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 江阴市永兴专利事务所(普通合伙) 32240 | 代理人: | 达晓玲;施光亚 |
地址: | 214400 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种新型多晶硅铸锭炉热场结构,包括上炉筒和下炉筒,上炉筒与下炉筒连接形成金属腔体,金属腔体内设有容量为650kg的坩埚,坩埚底部设有石墨散热块,石墨散热块下方设有保温毡,坩埚由多根石墨支撑柱支撑,坩埚顶部和外侧分别设有采用高纯等静压石墨作为电极的顶部加热器和侧面加热器,顶部加热器上方设有顶部保温层,侧面加热器外侧设有活动保温层,由吊杆连接在上炉筒上。活动保温层、顶部保温层和底部保温毡可以有效地维持内部热量,减少热量散失,同时坩埚容量增大,在不增加能耗的情况下提高了产率,间接降低了成本减少了污染。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 多晶 铸锭 炉热场 结构 | ||
【主权项】:
一种新型多晶硅铸锭炉热场结构,包括上炉筒(1)和下炉筒(5),上炉筒(1)和下炉筒(5)连接形成金属腔体,其特征在于,金属腔体内设有坩埚(3),坩埚(3)底部设有石墨散热块(4),石墨散热块(4)下方设有保温毡(7),坩埚(3)底部由多根石墨支撑柱(6)支撑,坩埚(3)顶部设有顶部加热器(11),坩埚(3)外侧设有侧面加热器(8),顶部加热器(11)上方设有顶部保温层(10),侧面加热器(8)外侧设有活动保温层(9)。
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