[实用新型]一种基于光纤光谱仪的光学薄膜厚度检测装置有效
| 申请号： | 201220305479.6 | 申请日： | 2012-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN202853573U | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 史斌;韩雪超;张冬仙;章海军 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于光纤光谱仪的光学薄膜厚度检测装置。光学平台上一侧从上到下顺次设有第一支撑柱、第一固定块，光学平台上另一侧从上到下顺次设有第二支撑柱、第二固定块，第一支撑柱、第二支撑柱上端固定有支撑横梁，支撑横梁下端设有Z向移动轨道，在Z向移动轨道上设有L型固定块，在L型固定块上设有光纤光谱仪探头横梁，在光纤光谱仪探头横梁上设有光纤光谱仪探头，在光纤光谱仪探头右侧设有光学显微镜，光学平台上从下到上顺次设有X、Y步进电控平移台、样品台、待测样品。本实用新型可以实时在线无损地获得光学薄膜样品不同位置的厚度信息。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 光纤 光谱仪 光学薄膜 厚度 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种基于光纤光谱仪的光学薄膜厚度检测装置，其特征在于包括包括光纤光谱仪探头（1）、光学显微镜（2）、Y型光纤（3）、白光光源（4）、光纤光谱仪主机（5）、Y向步进扫描台（6）、X向步进扫描台（7）、样品台（8）、待测样品（9）、步进扫描台驱动线（10）、步进扫描台控制主机（11）、计算机（12）、光学平台（13）、第一固定块（14）、第二固定块（15）、第一支撑柱（16）、第二支撑柱（17）、支撑横梁（18）、Z向移动轨道（19）、L型固定块（20）、光纤光谱仪探头横梁（21）；光纤光谱仪主机（5）通过Y型光纤（3）连接光纤光谱仪探头（1）和白光光源（4），光纤光谱仪主机（5）通过USB接口与计算机（12）通信；步进扫描台控制主机（11）通过USB接口与计算机（12）通信，步进扫描台控制主机（11）用步进扫描台驱动线（10）控制Y向步进扫描台（6）和X向步进扫描台（7），光学平台（13）一侧从下到上依次设有第一固定块（14）、第一支撑柱（16），光学平台（13）另一侧从下到上依次设有第二固定块（15）、第二支撑柱（17），第一支撑柱（16）和第二支撑柱（17）上端固定有支撑横梁（18），支撑横梁（18）下表面设有Z向移动轨道（19），Z向移动轨道（19）上设有L型固定块（20），L型固定块（20）上设有光纤光谱仪探头横梁（21），在光纤光谱仪探头横梁（21）上设有光纤光谱仪探头（1），光纤光谱仪探头（1）一侧设有光学显微镜（2），光学平台（13）上从下到上依次设有Y向步进扫描台（6）、X向步进扫描台（7）、样品台（8）和待测样品（9）。
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