[实用新型]用于清洁硅衬底的设备有效
| 申请号： | 201220277499.7 | 申请日： | 2012-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN202860913U | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 马库斯·乌伊莱因;斯特凡·海因里希·韦内特;帕特里克·甘特尔;克劳迪娅·沙夫纳;马丁·韦伯 | 申请（专利权）人： | 睿纳有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张春水;田军锋 |
| 地址： | 德国居*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于清洁硅衬底的设备。特别地，本实用新型涉及一种用于清洁由清洁液体包围并运输通过处理池的硅衬底的设备。根据本实用新型，用于单侧清洁硅衬底(1)的设备包括容纳清洁液体(F)的处理池(2)、用于通过处理池(2)沿着清洁平面(4)水平运输硅衬底(1)的运输设备(3)、用于产生声波场的至少一个振动器(5)以及用于将清洁的液体输出到待清洁衬底表面上的至少一个喷嘴(6)，其中至少一个振动器(5)设置在处理池(2)中，使得由所述振动器发射的声波能到达非待清洁的衬底表面上，且其中至少一个喷嘴(6)设置并定向成使得由喷嘴输出的液体在由振动器发射的声波的作用区域(W)中能到达待清洁衬底表面上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 清洁 衬底 设备 | ||
【主权项】：
用于单侧地清洁硅衬底(1)的设备，所述设备包括用于容纳清洁液体(F)的处理池(2)、用于将所述硅衬底(1)沿着清洁平面(4)水平地运输通过所述处理池(2)的运输设备(3)、用于产生声波场的至少一个振动器(5)以及用于将清洁的液体输出到待清洁的衬底表面上的至少一个喷嘴(6)，其中所述至少一个振动器(5)在所述处理池(2)中设置成，使得由所述至少一个振动器发射的声波能够到达非待清洁的衬底表面上，并且其中所述至少一个喷嘴(6)设置并定向成，使得由所述至少一个喷嘴输出的所述液体在由所述振动器发射的所述声波的作用区域(W)中能够到达待清洁的所述衬底表面上。
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