[实用新型]高应力平衡的红外探测器有效
| 申请号： | 201220263490.0 | 申请日： | 2012-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN202869656U | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 黄立;王大甲 | 申请（专利权）人： | 武汉高德红外股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/02 | 分类号： | G01J5/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及红外成像技术领域，公开了一种高应力平衡的红外探测器，包括基底和微结构，微结构包括桥面、设置在桥面相对侧方向的两只桥腿和锚柱，桥腿的一边端部与桥面连接在一起，另一边端部通过锚柱连接在基底上，基底表面上设有反射膜层，桥面是悬空在该反射膜层的正上方，并与之形成真空间隙层，所述微结构的桥面采用了对称的薄膜结构，从下到上依次为应力缓冲层、吸收层、热敏感层、保护层和钝化层，应力更容易实现补偿，从而使桥面的结构非常平整和稳定，不会发生翘曲变形，降低了本实用新型的工艺实现难度。 | ||
| 搜索关键词： | 应力 平衡 红外探测器 | ||
【主权项】：
一种高应力平衡的红外探测器，包括微结构(10)和基底(20)，其中微结构(10)包括桥面(30)，设置在桥面相对侧方向的两只桥腿(40)和锚柱(70)，微结构(10)的桥腿(40)一边端部与桥面(30)连接在一起，另一边端部通过锚柱(70)连接在基底(20)上，所述的基底(20)为读出集成电路衬底，表面上设有反射膜层(60)；所述的微结构(10)的桥面(30)是悬空在基底(20)的上方，并与之上的反射膜层(60)形成真空间隙层，其特征在于：所述微结构的桥面薄膜对称。
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