[实用新型]多点出光和独立调焦的激光灼刻装置

摘要

本实用新型公开了一种多点出光和独立调焦的激光灼刻装置，包括机架和激光灼刻控制装置。机架内设置有激光器、动态激光反射装置和至少两条激光光路，每一条激光光路均包括第一激光反射装置、第二激光反射装置、由振镜和聚焦镜组成的点出光装置。动态激光反射装置与激光灼刻控制装置电连接，激光灼刻控制装置控制动态激光反射装置运动，并将动态激光反射装置介入一条激光光路并将激光器发出的激光束经该一条激光光路出射到被灼刻对象表面。每一条激光光路的点出光装置均设置有焦距调整装置，通过焦距调整装置每条光路可独立地调整相应的点出光装置的焦距，用以使该点出光装置的激光束聚焦于被灼刻对象的表面。

主权项

一种多点出光且独立调焦的激光灼刻装置，包括机架和激光灼刻控制装置，所述机架内设置有激光器、动态激光反射装置和至少两条激光光路，每一条激光光路均包括第一激光反射装置、第二激光反射装置、由振镜和聚焦镜组成的点出光装置，其特征在于：所述动态激光反射装置与激光灼刻控制装置电连接，所述激光灼刻控制装置控制所述动态激光反射装置运动，并将所述动态激光反射装置介入一条激光光路并将所述激光器发出的激光束经该一条激光光路出射到被灼刻对象表面；所述每一条激光光路的点出光装置均设置有焦距调整装置，通过焦距调整装置每条光路可独立地调整相应的点出光装置的焦距，用以使该点出光装置的激光束聚焦于被灼刻对象的表面。