[实用新型]一种刻蚀下喷淋系统有效
| 申请号： | 201220255246.X | 申请日： | 2012-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN202595278U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 张学文;张高中;王金科;戴毅;吴松 | 申请（专利权）人： | 湖南普照爱伯乐平板显示器件有限公司;湖南电子信息产业集团有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410205 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种生产效率高、避免过程损失的刻蚀下喷淋系统，包括传送机构，安装在传送机构上端的上喷淋机构，所述传送机构下端设有下喷淋机构，所述上喷淋机构和下喷淋机构上设有压力调节器。本实用新型的刻蚀下喷淋系统在制作双面图形时，可通过一次刻蚀实现，显著提高了生产效率；在制作双面图形时不需要在剥离段之前手动收集基板，避免过程损失；在刻蚀单面图形时还可以去除背面绕射。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 喷淋 系统 | ||
【主权项】：
一种刻蚀下喷淋系统，其特征在于：包括传送机构，安装在传送机构上端的上喷淋机构，所述传送机构下端设有下喷淋机构，所述上喷淋机构和下喷淋机构上设有压力调节器。
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